2019-02-13 09:44:42
半导体应变计在受到应力作用时,其电阻会发生相应的变化,因此可制做测力传感器,广泛应用于自动衡器及力、速度等的测量。
半导体应变计有以下几种类型:
1)体型半导体应变计
这是一种将半导体应变计材料硅或锗晶体按一定方向切割成的片状小条,经腐蚀压焊粘贴在基片上而成的应变计。
2)薄膜型半导体应变计
这种应变片是利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝缘层的试件上而制成。
3)扩散型半导体应变计
将P型杂质扩散到N型硅单晶基底上,形成一层极薄的P型导电层,再通过超声波和热压焊法接上引出线就形成了扩散型半导体应变片。
在由半导体应变计组成的传感器中,由四个应变计组成全桥电路,将四个应变计粘贴在弹性元件上,其中两个在工作时受拉伸,而另虾两个则受压缩,这样可以使电桥输出的灵敏度最高。由于电桥的供电电源既可采用恒流源,也可采用恒压源,所以桥路输出的电压与应变计阻值变化的关系也就不同。